第156章 光源与波澜 (第2/2页)
生波长13.5纳米的EUV光源，功率约250瓦。
随着芯片工艺节点的不断缩小，对EUV光源功率的要求也将不断提升，估计会达到千瓦量级。
而基�
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生波长13.5纳米的EUV光源，功率约250瓦。
随着芯片工艺节点的不断缩小，对EUV光源功率的要求也将不断提升，估计会达到千瓦量级。
而基�
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